| 光谱仪 |
| EP22183620 2022-7-7 发明申请 |
| 2023-11-29 |
| 光谱仪包括光导基底、上光栅层、下光栅层、图像传感器和读出电路。 所述上光栅层设置在所述光导基底上并被配置为接收光。 所述上光栅层包括第一光栅结构、第二光栅结构、第三光栅结构，所述第一、第二、第三光栅结构具有不同的光栅周期。 光导基底被配置为当光传播到光导基底中时衍射光，使得形成多个衍射光，并且多个衍射光中的每一个具有不同的波长和不同的光路。 所述下光栅层设置在所述光导基底的下方，并被配置为发射所述多个衍射光。 所述图像传感器设置在所述下光栅层下方。 所述读出电路设置在所述图像传感器下方。 |
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