| 一种基于超表面的红外窄带热辐射光源 |
| CN202311338014.X 2023-10-17 发明申请 |
| 2024-1-30 |
| 本发明涉及光学器件领域，具体涉及一种基于超表面的红外窄带热辐射光源实现方法。所述的光源结构从上到下依次为密封层、超表面微阵列结构、绝缘层、金属加热层、复合介质支撑层、金属反射层和硅基衬底层。超表面结构由图案化的金属或介质微结构组成，表面覆盖有密封层。金属加热层与超表面微阵列结构之间用绝缘层隔开。金属加热层下方是复合介质支撑层，支撑层由两层薄膜组成，形成四端梁固支悬膜结构。硅基衬底层中具有一个矩形空腔，腔底集成了金属反射层。所述的基于超表面的红外窄带热辐射光源通过调整超表面结构参数可任意调谐发射波长，无需借助滤光装置即可实现窄带发射光谱，用作气体传感器光源能够有效减小器件尺寸并与CMOS工艺兼容，利于大规模生产和片上集成。 |
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