| 扫描探针显微镜 |
| JP2019160224 2019-9-3 发明申请 |
| 2020-1-23 |
| [问题]对于能够移动的分束器，通过扫描探针显微镜能够观察到高精度。 [解决方案]在扫描探针显微镜悬臂S和4中，当确定样品1的位置时， 用户， 上壳体(21a)(12)·光学显微镜(10)的第1开口部(21)相对配置， 旋转设置在夹持部上的侧壳体，通过旋转分束器使壳体内的保持部移动，光学显微镜从视野内缩回。 因此，能够始终保持设置在壳体内的分束器，能够防止用户触摸光束。 结果，可以防止分束器6损坏，弄脏或分束器6。 此外，可以缩短分束器6的移动距离。 因此，可以抑制分束器6的位移。 图1[附图] |
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