X射线分析装置及X射线分析装置的控制方法
 
JP2022113107  2022-7-14  发明申请

2024-1-25
 
  挑战:减少样品损伤同时提高样品分析的准确性解决方案:根据一个实施例的EPMA100包括光谱仪6和控制装置10。 分光计6是波长色散分光计6,其被配置为检测从用电子束照射的样品S产生的特征X射线。 控制装置10使分光计6移动。 控制装置10在使分光器6移动的同时,基于由分光器6检测出的特性X射线生成试样的光谱,在分光器6的移动过程中,使分光器6的移动速度变化。 1
 
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