| 用于半导体工艺的光学仪器的故障检测和操作就绪情况的系统和方法 |
| CN202310874640.4 2023-7-17 发明申请 |
| 2024-1-16 |
| 本申请案涉及一种用于半导体工艺的光学仪器的故障检测和操作就绪情况的系统和方法。本公开认识到，当光学仪器未正常工作时，与其用光学仪器作为工艺控制仪器/传感器来监测可控工艺，不如不开始监测所述工艺。因此，本公开涉及用于在光谱仪等光学仪器用于监测半导体工艺之前检查所述光学仪器是否正常工作的新颖特征。在一个方面中，本公开提供一种用于评估和验证光学仪器的操作状态的系统。在一个实例中，所述系统包含：(1)集成光源；(2)光学传感器，其用于收集来自所述集成光源的光；(3)控制器，其控制所述集成光源和所述光学传感器；以及(4)处理器，其用于处理从所述光获得的收集到的光学信号数据且导出指示所述操作状态的度量。 |
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