| 用于监测半导体工艺的极高分辨率光谱仪 |
| CN202310875008.1 2023-7-17 发明申请 |
| 2024-1-16 |
| 本申请涉及一种用于监测半导体工艺的极高分辨率光谱仪。提供可用于监测半导体工艺的极高分辨率的光学仪器。在此应用空间中，极高分辨率可被认为是足以准许分辨个别分子转振发射线的分辨率。在一个实例中，提供一种光学仪器，其包含：(1)光学接口，其接收光纤；(2)窄带通滤波器，其滤出经由所述光纤接收的光信号的一部分；(3)光学组件，其被选择性地组合以处理未滤波光信号的至少一部分，其中所述光学组件包含接收所述未滤波光信号的传感器；以及(4)一或多个处理器，其处理来自所述传感器的电信号。所述光学仪器可为适合于工艺控制仪器的光谱仪。 |
微信公众号