| 一种照明系统和检测设备 |
| CN202311755782.5 2023-12-20 发明申请 |
| 2024-1-23 |
| 本发明提供了一种照明系统和检测设备，属于宽光谱照明和半导体检测领域，照明系统包括光源、抛物面反射镜、分束光栅、波长选择器、聚焦镜、合束光栅和宽带反射镜，或者双通道照明时设置有分束镜，通过分束镜的两束出射光通过第一反射镜和第二反射镜按所需角度出射，以此进入对应的检测设备。本申请的照明系统采用宽光谱多波长光源，并通过多波长选择配置及明暗场混合多通道照明，提高了工艺适应性，避免了散斑带来的检测噪音，保证了照明光的光强或亮度，降低了误检率，增加了缺陷类型覆盖能力。 |
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