| 微型光谱成像芯片及微型成像光谱仪 |
| CN202210808715.4 2022-7-11 发明申请 |
| 2024-1-19 |
| 本申请涉及一种微型光谱成像芯片及微型成像光谱仪，属于光谱成像技术领域，其自上而下依次包括光学滤波层、图像传感层和信号处理层；光学滤波层由透明介质基底和若干不同的微纳结构单元构成，每个微纳结构单元包含多组微纳结构阵列；微纳结构阵列为单层或多层结构；每个微纳结构单元覆盖光电探测器阵列层上的单个或多个感光像素单元；微纳结构单元覆盖的光电探测器阵列层区域为光谱芯片区；图像传感层包括光电探测器阵列层和设于光电探测器阵列层上的金属电路层。本申请实现了在极小的体积下兼具高的光谱分辨能力与图像分辨能力。 |
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