| 用于半导体工艺的光学仪器的故障检测和操作准备的系统和方法 |
| US18352058 2023-7-13 发明申请 |
| 2024-1-18 |
| 本公开认识到，当光学仪器没有正常操作时，不开始监视可控过程比用诸如过程控制仪器/传感器的光学仪器监视该过程更好。 因此，本公开涉及用于在用于监测半导体工艺之前检查诸如光谱仪的光学仪器是否正常工作的新颖特征。 在一个方面，本公开提供了一种用于对光学仪器的操作状态进行评估和验证的系统。 在一个示例中，该系统包括：(1)集成光源，(2)用于收集来自集成光源的光的光学传感器，(3)控制集成光源和光学传感器的控制器，以及(4)处理器，用于处理从光获得的收集的光学信号数据，并导出指示操作状态的度量。 |
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