| 用于投影照明系统的反射镜 |
| DE102022207052 2022-7-11 发明申请 |
| 2024-1-11 |
| 一种用于投影曝光装置的反射镜，其具有被实施为光栅结构(30)的光谱滤光器，用于由反射镜反射的光。 光栅结构(30)具有至少两个光栅级并且因此规定用于反射光的至少两个光程长度。 在每种情况下，光栅结构(30)的整体侧面部分(35)布置在光栅结构(30)的光栅级结构部分(33，34)之间，所述光栅级结构部分分别指定相邻的光栅级。 在构成所述总侧面部分(35)的至少90%的范围的所述总侧面部分(35)的无缺陷的部分侧面部分上的下限空间波长在从0.01 μ m至1 μ m的范围内排他性地存在。 在整个侧面部分(35)的无缺陷的部分侧面部分上的上限空间波长在排除0.1 μ m至100 μ m的范围内。 所述无缺陷部分侧面部分在所述下限空间波长以上且在所述上限空间波长以下的有效粗糙度小于10nm。 保护层，设置于所述光栅结构(30)上。 由此得到具有改善的使用寿命的镜子。 |
微信公众号