| 一种原子力显微镜模拟实验装置 |
| CN201920238000.3 2019-2-26 实用新型 |
| 2020-1-21 |
| 本实用新型涉及一种原子力显微镜模拟实验装置，包括底座、探针、样品台、激光器以及调节机构；激光器、偏转棱镜、位置敏感探测器依次设置在同一平面上；调节机构包括Z向调节机构，探针经探针座及探针安装支架设置在Z向调节机构上，探针包括悬臂和反射镜；还包括有机玻璃片，有机玻璃设置在所述探针上方，使激光器的发射出的激光经有机玻璃传至探针的反射镜，再经反射镜反射至依次传至有机玻璃、偏转棱镜和位置敏感探测器。提供一种原子力显微镜的原理、微探针的进给操作和样品的扫描成像模拟仿真的实验装置。降低原子力显微镜探针及实验仪器损坏的概率，节约原子力显微镜实验的成本，提高原子力显微镜的实验效率。 |
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