| 一种大数值孔径高分辨率紫外成像光谱仪 |
| CN202311363419.9 2023-10-20 发明申请 |
| 2024-1-16 |
| 本发明属于成像光谱技术领域，具体涉及一种大数值孔径高分辨率紫外成像光谱仪，包括沿光轴依次设置的狭缝组件、校正镜组件和凹面罗兰光栅，在狭缝组件同侧的相面位置上设置有CCD；所述校正镜组件包括第一校正镜、第二校正镜和第三校正镜，第一校正镜为双凸正透镜，第二校正镜为弯月正透镜、第三校正镜为弯月负透镜。本发明结构紧凑，体积小，重量轻，同时装配工艺简单，工作波长为0.25~0.7μm，实现了系统的高信噪比，高动态测量范围，实现了系统的大相对孔径设计，可实现低畸变长狭缝的光谱模块设计。 |
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