| 一种模块化结构的膜厚仪 |
| CN202322079824.X 2023-8-3 实用新型 |
| 2024-1-16 |
| 本实用新型提供一种模块化结构的膜厚仪，包括测试仪及用于固定测试仪和放置测试片的测试台，所述测试仪包括机体及安装在机体外端一侧的机盖，机体的下端一侧倾斜安装有灯源，机体另一侧对应灯源安装有光学件，光学件分别与机体内的第一光谱仪和第二光谱仪连接。机体一体化设置，使相关部件安装在机体上，减小了体积，有利于与其他系统的集成；简化了设备结构，提高了产品的一致性。测试台通过伺服电机和横移电机调节测试片的位置，以对测试片多点测试，从而提高产品测量的精确性。测试仪通过支架固定安装在测试台上，便于测试仪的拆装维修。测试台的四周分布设有调节座，以用于调节测试台各个支撑点的高度，使测试台保持水平。 |
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