| 照明模块及相关方法和计量设备 |
| WOEP23060434 2023-4-21 发明申请 |
| 2023-11-23 |
| 公开了一种用于计量装置的照明模块。 所述照明模块包括可配置照明模块，所述可配置照明模块可操作以在可配置的照明角度范围上提供测量照明，光栅光阀模块，所述光栅光阀模块用于可控地配置所述测量照明的光谱配置； 以及控制器，所述控制器可操作以控制所述可配置照明模块和所述光栅光阀模块，使得所述测量照明的光谱配置在所述照明角度范围内根据照明角度而变化，从而获得用于检测来自所述衍射结构的衍射辐射的期望检测条件，所述衍射辐射是从使用所述测量照明的所述衍射结构的测量得到的。 |
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