| 铜铟镓硒化学水浴沉积CSD整体设备 |
| CN201810615775.8 2018-6-14 发明申请 |
| 2018-10-16 |
| 本发明公开了一种铜铟镓硒化学水浴沉积CSD整体设备。该铜铟镓硒化学水浴沉积CSD整体设备在主反应区内每个加热器上分别设置有温度传感器，可反馈加热器的温度，这样就可通过温度传感器和加热器来调控主反应区内的温度，同时主反应区末端设置有荧光光谱仪可反馈硫化镉薄膜的厚度，从而调节产生的硫化镉薄膜的厚度，同时腔门能够打开便于调整，主反应区前端的风机可以防止溶液逆流出主反应区，设备整体分上下部分环绕设计可以减小设备占地面积，且通过该设备镀膜、冲洗、风干一体化，使铜铟镓硒薄膜太阳能电池卷进去到出来就可以直接给到下一个工序，节省了很多的时间，有利于提高生产效率。 |
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