产业集群信息网

产业专利数据

用于拉曼-原子力显微镜(AFM)的驱动结构

KR1020180080022 2018-7-10 发明申请

2020-1-20

根据本发明的一个实施例，驱动结构可以包括其上设置有两个样品的样品衬底，以及设置在样品衬底下方以控制样品衬底的位置的平台，以及。该平台可控制样品衬底在微米单元或纳米单元中的位置。