| 对紫外和可见光辐射具有高分辨能力的紧凑型α-BBO声光偏转器 |
| WOEP19060658 2019-4-25 发明申请 |
| 2019-10-31 |
| 所公开的技术涉及使用α-硼酸钡(αBBO)晶体开发声光器件(AOD)。 使用α BBO的AOD能够实现高分辨率微光刻图案化。 AOD包括耦合到RF换能器的α BBO板，RF换能器驱动声波通过晶体结构。 激光源发射入射到晶体表面上的光束。 传播的声波用作衍射入射波的衍射光栅。 使用α BBO晶体允许紫外和可见光谱中的光的高分辨率。 声波通过晶体的低速传播允许比使用其他类型的晶体制成的AODs更多的激光点被成像。 |
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