| 全反射荧光X射线分析仪 |
| KR1020237013895 2021-11-1 发明申请 |
| 2023-5-11 |
| 提供一种分析灵敏度和分析速度高的全反射X射线荧光光谱仪。 全反射X射线荧光光谱仪包括：X射线源，其具有电子束焦点，所述电子束焦点在平行于样品表面且垂直于X射线照射方向的方向上具有有效宽度，所述有效宽度大于照射方向上的尺寸； 反射镜片，其在正交方向上的有效宽度大于电子束焦点的有效宽度，并且在照射方向上具有弯曲表面； 以及多个检测器，所述多个检测器在所述正交方向上排列成一排，并且被配置为测量从用由所述反射光学器件聚焦的一次X射线照射的所述样品发射的荧光X射线的强度。 |
微信公众号