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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

用于厚堆叠的光学临界尺寸(OCD)计量

WOIB23056649 2023-6-28 发明申请

2024-1-4

一种用于评估厚透明层的方法，所述方法包括：(i)产生关于光谱仪的测量值与光谱仪的光程差(OPD)值之间的关系的信息; 其中所述信息的产生包括通过以下步骤照射所述厚透明层； (ii)基于关于所述关系的信息，确定一个或多个厚透明层反射参数; 以及(iii)基于所述一个或多个厚透明层反射参数来确定所述厚透明层的一个或多个结构特性。