| 一种具有光谱分辨功能的芯片 |
| CN202210882377.9 2022-7-26 发明申请 |
| 2022-10-11 |
| 本发明公开了一种具有光谱分辨功能的芯片，包含微环和至少一组波长选择器，微环的输出端通过波导与至少一组波长选择器的输入端连接，每组波长选择器对应设置有光发射器、第一探测器和第二探测器，波长选择器的输出端通过波导连接光发射器，第一探测器接收光发射器发出的激光信号，第二探测器接收光发射器发射到自由空间反射回来的激光信号。本发明从光源强度、波长选择以及光谱信号探测出发，在硅基衬底上集成光频梳、热光调制器、光发射器、锗探测器和波导，实现高性能的片上硅基光谱仪芯片，与传统的色散结构器件相比，可以在很小的尺寸内实现高精度的分光功能，且能够满足光谱仪日常使用需求。 |
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