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4
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样品分析器,电子显微镜和聚光镜单元
JP2018132206 2018-7-12 发明申请
2020-1-16
[A]在不降低发光检测的效率的情况下,能够对试样照射带电粒子减少。 [解决方案]从照射有在用于分析样品W100W的样品分析器中检测到的带电粒子的样品发射的光, W向带电粒子照射单元3照射试样, 样品W设置在照射部分3,设置在样品W聚光镜41,照射部分3和聚光镜41之间,从而在带电粒子之间产生减速电场。 图4[附图]
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