| 衬底保持器和扫描电子显微镜 |
| JP2018128974 2018-7-6 发明申请 |
| 2020-1-16 |
| 不更换基板保持工具的固定销，在多个不同类型的基板的每一个中形成V形缺口，将其放置在电路图案的方向上。 [解决方案]由固定销和特殊晶片40AN40AS提供的往复运动机构的标准晶片凹口接合固定销接合凹口51，标准晶片凹口接合固定销接合标准或特殊晶片凹口40AN40AS的固定销VV凹口2N。 V型槽口在接合前或特殊增加，一个或多个特殊晶片槽口用于接合固定销接合固定销40a和40b。 2NV标准或专用增氧器 40由于标准晶圆不受干扰，标准V和V两个夹持器都可以放置在一个特殊的夹持器上。 2N.图2[图] |
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