| 用于激光诱导等离子体光谱分析的检测单元及激光诱导等离子体光谱仪 |
| DE102022112765 2022-5-20 发明申请 |
| 2023-11-23 |
| 一种用于分光计系统(1)的检测单元(21)，用于由激光诱导等离子体(3)发射的等离子体光(3A)的光谱分析(LIBS)，其中等离子体(3)由在样品(7)的表面(7A)上沿射束轴线(5A)传播的激光束(5)产生。 检测单元(21)由镜头座(23)和由镜头座(23)保持的若干个镜头(25A、25B、25C、25D)组成。 所述物镜(25A、25B、25C、25D)中的每一个被分配有检测锥(35)，所述检测锥在与所述激光束(5)的重叠区域(37)中形成等离子体检测区域(39)，在等离子体检测区域(39)的情况下由所述物镜(25A、25B、25C、25D)从所述等离子体检测区域检测等离子体光(3A)的测量部分(33)。 物镜(25A、25B、25C、25D)在透镜架(23)中以这样的方式布置和对准，使得等离子体检测区域(39)沿着射束轴线(5A)交错并且一起形成检测单元(21)的视场(41)。 借助多焦点探测概念增加的景深可以缩短光谱分析的测量过程。 |
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