| 一种连续分布集成超表面微型光谱传感系统 |
| CN202010222056.7 2020-3-26 发明申请 |
| 2021-9-28 |
| 本发明公开了一种连续分布集成超表面微型光谱传感系统，涉及光谱测量领域，主要技术问题是解决当前光谱仪尺寸大、重量重、不易于集成的问题。该系统包括超表面分光子系统、消色差成像子系统和面阵探测器；面阵探测器上设置有消色差成像子系统，消色差成像子系统上设置有超表面分光子系统；超表面分光子系统包括基底和设置于基底上且连续排列的超原子；超表面分光子系统分为N×M个区域，每个区域包含多个且相同的超原子；每一个区域对应一个谐波波长。本发明具有高集成化、高可靠性、与半导体工艺兼容等优点。 |
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