| 一种高衍射效率低偏振全反射浸没光栅 |
| CN202321667570.7 2023-6-28 实用新型 |
| 2023-12-22 |
| 本实用新型公开了一种高衍射效率低偏振全反射浸没光栅，它包括光栅层和等效介质层；所述的光栅层为按周期排列刻蚀于棱镜基底上的矩形光栅结构；等效介质层设置于光栅结构表面，由厚度相等的Al2O3纳米膜和TiO2纳米膜交替叠加；浸没光栅的入射角大于等于光栅层材料的全反射角。当入射光在光栅层所在的材料中，并以大于光栅全反射角的角度入射时，入射光会在介质层和光栅层交界处发生衍射效应从而产生衍射光。由于入射光大于光栅全反射角发生全反射，衍射光将被反射回光栅层中。本实用新型提供的浸没光栅采用了等效介质层和大入射角，使光栅实现高衍射效率和低偏振灵敏度，可应用于星载大气高光谱分辨率成像光谱仪中。 |
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