| 具有低原子序低温标靶之雷射产生电浆照明器 |
| TW109137801 2020-10-30 发明申请 |
| 2021-9-16 |
| 本文中呈现用于自采用一低原子序低温标靶之一雷射产生电浆()产生射线照明之方法及系统。将一高度经聚焦短持续时间雷射脉冲引导至一低原子序经低温冻结标靶从而点燃一电浆。在某些实施例中标靶材料包含具有小于19之一原子序之一或多种元素。在某些实施例中低原子序低温标靶材料涂布于一经低温冷却桶之表面上该经低温冷却桶经组态以相对于入射雷射光而旋转及平移。在某些实施例中低原子序低温光源产生用于量测半导体结构之结构特性及材料特性之在一软射线()光谱范围内之多个线或宽频射线照明。在某些实施例中利用如本文中所阐述之一低原子序低温照明源来执行反射小角度射线散射测量量测。-().....19....--()..--. |
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