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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

在晶圆上的微缩化光谱仪

TW111136668 2022-9-28 发明授权

2023-7-1

?一种在晶圆上的微缩化光谱仪包含多个光侦测器、抗反射层、光栅层、厚膜层以及准直器。抗反射层设置于光侦测器上。光栅层设置于抗反射层上方光栅层包含多个光栅结构以透过厚膜层将光扩散为光谱的光至光侦测器。厚膜层自光栅层连续地延伸至抗反射层厚膜层的厚度在400μ和2000μ的范围内且光栅层的折射率大于厚膜层的折射率。准直器设置于光栅层上方其中准直器配置以限制自第一微透镜的光的入射角。