| 一种透射电子显微镜可动光阑的光阑片装置 |
| CN201911111805.2 2019-11-14 发明申请 |
| 2020-1-10 |
| 本发明涉及一种透射电子显微镜可动光阑的光阑片设计。本发明包括：光阑片材质(1)，光阑片形状(2)，光阑孔(3)。本发明适用于透射电子显微镜的聚光镜、物镜和投影镜中的可动光阑。光阑是电镜重要的成像部件之一，其主要作用是通过调节通过光束大小，获得明场像和暗场像，降低噪声干扰、降低球差、提高成像衬度。光阑的性能指标主要由光阑片决定，包括：光阑片材质、光阑片形状、光阑孔数量、光阑孔尺寸、可移动(倾转)范围、移动精度等。本发明使用Ni?Si青铜系合金加工成透射电子显微镜可动光阑光阑片，具有易于加工、无磁性、耐电子束轰击、延展性和韧性适中、耐腐蚀、成本低廉等特点。 |
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