| 曝光方法 |
| TW112131695 2019-1-22 发明申请 |
| 2023-12-16 |
| 设置有：光源2(2、2)其为了对光罩基板进行照明而产生包含复数个明线波长(射线、射线、射线等)之光；第1照明光学系统其具有：射入来自光源2(2、2)之光且将包含复数个明线波长中之至少1个特定明线波长(射线)而限制为既定之波长宽度之照明光束抽出的波长选择部6(6、6)、及调整照明光束之发散角的数值孔径可变部8(8、8)；以及第2照明光学系统()其包含用以伴随与发散角对应之数值孔径而以同样之照度对光罩基板上照射照明光束的光学积分器(复眼透镜系统)；并且于波长选择部安装第1波长选择元件(干涉滤光器)其一面将特定明线波长(射线)之旁边出现之长波长侧之明线及短波长侧之明线去除一面将特定明线波长之光谱成分及分布于特定明线波长之底部附近的低亮度之光谱成分抽出。; 无 |
微信公众号