| 光谱芯片、光谱仪及光谱重建方法 |
| CN202311385688.5 2023-10-24 发明申请 |
| 2023-12-12 |
| 本公开涉及一种光谱芯片、光谱仪及光谱重建方法,光谱芯片包括:滤波组件及探测组件,滤波组件设置在探测组件上,滤波组件用于对入射光进行滤波,探测组件用于对滤波后的入射光进行光强探测,其中,滤波组件包括垂直堆叠的至少两层滤波层,至少两层滤波层包括至少一层纳米晶体薄膜滤波层及至少一层半导体膜层,各层滤波层均包括多个滤波单元,各层滤波层的滤波单元一一对应并垂直堆叠形成滤波组件的光谱滤波单元。本公开实施例通过设置滤波组件包括垂直堆叠的至少两层滤波层,各层滤波层均包括多个滤波单元,各层滤波层的滤波单元一一对应并垂直堆叠形成滤波组件的光谱滤波单元,从硬件结构角度降低光谱重建的病态性,提高光谱芯片的性能。 |