| 一种基于MEMS面内驱动的全波段计算重构光谱仪 |
| CN202311201704.0 2023-9-18 发明申请 |
| 2023-12-12 |
| 本发明公开了一种基于MEMS面内驱动的全波段计算重构光谱仪，包括：可调谐定向耦合器可以实现光在波导间的耦合，通过面内驱动器实现对定向耦合器面内耦合间距的调制，不同输入波长及不同面内耦合间距状态下的干涉强度可以被采样组成采样矩阵，采样矩阵用于实现对未知输入光谱的计算重构。本发明的优点：一是面内驱动器可以不受埋氧层厚度限制实现大位移驱动，使得面内驱动波导耦合器可以实现足够大的调制范围，从而实现全波段均可采用的通用计算重构光谱仪；二是面内驱动器驱动波导实现面内位移，可以使波导面内耦合间距突破工艺制造时光刻精度的限制，增强模态的耦合强度，增大光程差，提升采样矩阵数据的不相关性，从而提升光谱仪重构分辨率。 |
微信公众号