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源选择模块以及相关联的计量和光刻设备

WOEP22073972 2022-8-29 发明申请

2023-3-30

公开了用于光谱地成形宽带照明光束以获得光谱地成形的照明光束的源选择模块。所述源选择模块包括用于分散所述宽带照明光束的光束分散元件；光栅光阀模块，所述光栅光阀模块用于在被分散之后对所述宽带照明光束进行空间调制；以及光束组合元件，用于将所述空间调制宽带照明光束重新组合以获得输出源光束。