产业集群信息网

产业专利数据

同时进行激光清洗和光谱清洁度监测

US17833670 2022-6-6 发明申请

2023-12-7

公开了用于同时清洁样品和清洁度监测的方法和装置，所述样品例如用于电子点投影显微术的衬底。通过激光照射石墨烯样品。来自污染物的拉曼散射产生次级光，该次级光由光谱仪分析。基于拉曼散射分析，确定样品清洁度。可以基于实现目标清洁度水平或基于其预测来动态地终止清洁。公开了变型和附加应用。