| X射线荧光光谱仪 |
| EP21885717 2021-9-10 发明申请 |
| 2023-8-9 |
| 排除模块(21)，其被配置为对于每条相应的测量线，计算其测量元素不包含在基层中的每种成分的涂覆量，假设该成分仅构成薄膜，并且采用最大涂覆量作为该成分的涂覆量的初始值； 并且，对于每个相应的测量线，基于其测量元素不包含在基底层中的各个组分的涂覆量的初始值，计算其测量元素包含在基底层中的每个组分的涂覆量，如果所有相应的测量线的计算结果给出误差，则将该组分作为不可定量的组分从分析目标中排除，并且在其它情况下，采用最大涂覆量作为该组分的涂覆量的初始值。 |
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