| 芯片光谱仪及光探测方法 |
| CN202210602980.7 2022-5-27 发明申请 |
| 2023-12-5 |
| 本发明公开了一种芯片光谱仪及光探测方法。所述芯片光谱仪包括：探测器以及不透光层，具有色散结构以及透光结构或输出耦合结构；其中，被测光入射所述不透光层后，形成于所述色散结构所在平面上传输的光，并与所述色散结构耦合实现色散，之后经所述透光结构或输出耦合结构输出至所述探测器的受光面。本发明实施例提供的一种芯片光谱仪，色散结构的覆盖面积小，可以完全在芯片上集成，而无需全反射棱镜等倏逝波耦合元件。 |
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