光谱仪照明光学系统
 
CN202321373857.9  2023-5-31  实用新型

2023-12-5
 
  本实用新型实施例提供的一种光谱仪照明光学系统,包括:照明光源组件、光阑组件和镜组,间隔设置在所述光谱仪照明光学系统的光线传输方向上,从而所述照明光源组件工作时产生的照明光束能够沿着所述光线传输方向经由所述光阑组件和所述镜组形成具有目标尺寸的照明光斑。所述光阑组件包括一个或多个软边光阑。本实用新型实施例公开的光谱仪照明光学系统由于采用了软边光阑,软边光阑的软边能够有效抑制光的衍射效应,因而能够有效控制入射至被测物表面的照明光斑尺寸减小至几十微米甚至几微米的范围内。
 
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