| 扫描电子显微镜 |
| WOJP18025029 2018-7-2 发明申请 |
| 2020-1-9 |
| 在使用高能电子束的扫描电子显微镜中，可以高速地校正焦点。 本发明具有 : 包括物镜113和用于释放电子束116的电子源100的电子光学系统； 设置在载物台115上的样品台1025，样品114放置在样品台1025上； 设置在物镜和样品台之间的反射电子检测器1023，反射电子检测器1023检测由电子束和样品之间的相互作用释放的反射电子1017； 反射电子检测系统控制单元138，其被设置为与反射电子检测器相对应，反射电子检测系统控制单元向反射电子检测器施加电压； 以及设备控制计算设备146。 物镜在载物台方向上具有开口，并且装置控制计算装置控制从反射电子检测系统控制单元施加到反射电子检测器的电压，从而执行电子束焦点的校正。 |
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