| 探针芯片，扫描头，扫描探针显微镜装置和探针芯片的用途 |
| EP18182254 2018-7-6 发明申请 |
| 2020-1-8 |
| 本发明涉及一种用于扫描探针显微镜装置中的探针芯片，该扫描探针显微镜装置用于保持安装在其上的探针。 探针芯片包括载体元件，该载体元件具有探针承载侧，探针承载侧被构造成承载探针，以作为探针的整体或安装部分从探针承载侧延伸。 所述载体元件还包括构造成用于将所述探针芯片安装到所述扫描探针显微镜装置的扫描头上的安装侧，其中所述安装侧在所述载体元件的纵向和横向方向上延伸成基本平坦。 朝向探针承载侧的承载元件在通过承载元件的中心的纵轴的任一侧上在横向方向上被截短， 从而在使用中，当纵轴相对于待扫描的衬底表面倾斜一个倾斜角时以及当探针相对于衬底表面处于测量位置时，能够使探针芯片绕纵轴旋转一个旋转角 衬底表面。 |
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