滤光器和包括该滤光器的光谱仪
 
US16288752  2019-2-28  发明申请

2019-9-12
 
  公开了一种滤光器和包括该滤光器的光谱仪。 该滤光器包括具有不同谐振波长的多个滤光器单元, 其中所述多个滤波器单元中的每一个包括被配置为输出相长干涉光的腔体层, 布拉格反射层,设置在腔体层的第一表面上; 以及图案反射层,设置在腔体层的与第一表面相对的第二表面上,并且被配置为引起入射到图案反射层上的光的导模共振,图案反射层包括周期性排列的多个反射结构。
 
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