| 扫描探针显微镜的光轴调整方法 |
| JP2018217360 2018-11-20 发明授权 |
| 2020-1-8 |
| [A]对于不同的被检体不设置高反射率，光轴调整可以是扫描探针显微镜的光轴调整方法和扫描探针显微镜。 [解决方案]扫描探针显微镜， 探针具有悬臂的尖端2和7， 悬臂上照射有激光， 由具有悬臂的检测光学系统80反射的激光， 悬臂在包括拍摄用部件的前端的激光范围的光轴的调整中， 所述拍摄部从所述探头10的顶端产生， 处理部根据检测出的位置，检测激光的光斑位置，设置光轴调整部，调整激光的光轴，保持试样保持部。 试样保持部44，反射镜33。 图1[附图] |
微信公众号