| 用于表征化学增强透明基板中的应力的强化混合系统及方法 |
| TW111106369 2022-2-22 发明申请 |
| 2022-10-16 |
| 混合量测系统[20]包括一渐逝棱镜耦合光谱术()子系统[100]及一光散射偏光测定法()子系统[200]。该子系统包括一光源系统[110]该光源系统[110]经由一耦合棱镜[42]光学耦合至一侦测器系统[140]。该子系统包括一光源[112]该光源[112]光学耦合至一光学补偿器[230]该光学补偿器[230]继而经由一耦合棱镜[42]光学耦合至一侦测器系统[240]。一支撑结构[46]支撑该耦合棱镜及该耦合棱镜以界定一耦合棱镜总成[40]该耦合棱镜总成[40]将两个棱镜支撑在一量测位置[]处。使用该子系统及该子系统进行的应力量测经组合以全面表征一透明的化学增强基板[10]的应力性质。亦揭示了处理及量测结果的方法以及用于改良量测准确度的该子系统及该子系统的强化组态。; [20]()-[100]-()-[200]-[110][140][42]-[112][230].[240][42][46][40].[]-[10]- |
微信公众号