| 基于原子力显微镜(AFM)扫描探针的力学响应测量工具 |
| CN201910920463.2 2019-9-27 发明申请 |
| 2020-1-7 |
| 本发明涉及一种基于原子力显微镜(AFM)扫描探针的力学响应测量工具。所述力学响应测量工具是将AFM扫描探针和两个胶体微球粘接，利用一个胶体球取代扫描探针针尖与样品表面接触，另一个胶体微球粘在探针末端处于半悬空状态，可参与到视觉传感的定位中。位于扫描探针下方的微球改善了力负载的加载方式，而半悬空微球保留了一半球的特征，在微纳精度的视觉定位中有较好的鲁棒性。 |
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