X射线荧光光谱仪
 
JP2021562655  2020-12-1  发明授权

2023-11-24
 
  为了提供一种X射线荧光分析仪,该X射线荧光分析仪通过仅由待测元素产生荧光X射线或由待排除元素产生非常少量的荧光X射线,即使在液体样品中包含的多种元素的原子序数彼此接近的情况下,例如磷(P)和硅(Si)中, X射线荧光分析仪100被配置为分析包含待测的第一元素和原子序数大于所述第一元素的原子序数的第二元素的液体样品,所述X射线荧光分析仪包括:X射线源(1),其发射第一X射线; 次级靶(3),其通过被所述第一X射线激发而产生所述第二X射线; 检测由入射到液体样品(LS)上的第二X射线产生的荧光X射线的检测器(6); 以及浓度计算器(7),其基于检测器(6)的输出计算液体样品(SP)中的第一元素的浓度,其中,满足E1<EP<E2,其中E1表示第一元素的吸收边缘的能量,E2表示第二元素的吸收边缘的能量,EP表示第二X射线的能量峰。
 
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