| 用于激光诱导等离子体光谱分析的光谱仪系统 |
| DE102022112766 2022-5-20 发明申请 |
| 2023-11-23 |
| 本发明涉及一种用于激光诱导等离子体光谱分析的光谱仪系统(201)，包括用于发射激光束(203)的激光束源(209)和用于将激光束(203)聚焦在样品上的聚焦光学单元(211)。 形成等离子体产生区域，使得位于等离子体产生区域中的样品(7)的表面导致激光诱导等离子体(3)的形成。 光谱仪系统(201)还包括用于捕获等离子体光的检测单元(221)。 所述检测单元(221)包括多个物镜(225A、225B、225C、225D)。 所述物镜(225A、225B、225C、225D)中的每一个与检测锥(235)相关联，所述检测锥在与所述激光束(203)重叠的区域中形成等离子体检测区域(239)，使得当在所述等离子体检测区域(239)中的一个中形成所述激光诱导等离子体(3)时，所述等离子体光的测量分量可以由相应的物镜(225A、225B、225C、225D)捕获。 所述等离子体检测区域(239)共同形成所述检测单元(221)的视野(241)。 光谱仪系统(201)还包括样品容器(203)、样品容器支撑件(271，271’)和用于对由检测单元(221)捕获的等离子体光的测量分量进行光谱分析的光谱仪(213)。 样品容器支撑件被设计成移动样品容器(203)，使得例如在用于光谱分析的测量过程中，样品(7)的表面的多个部分可以被定位在等离子体产生区域中。 |
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