| 具有单原子终端结构的离子源和电子源，具有单原子终端结构的尖端，气场离子源，聚焦离子束装置，电子源，电子显微镜，掩模修复装置，以及制造具有单原子终端结构的尖端的方法 |
| US16203078 2018-11-28 发明授权 |
| 2020-1-7 |
| 本发明提供一种能够使前端仅由一个原子形成的单原子终端结构重复再生的尖端。 一种具有单原子终端结构的尖端(1)，包括 : 由第一金属材料制成的细线构件(2)； 由第二金属材料制成的突出部分(4)，该突出部分至少形成在细线构件(2)的远端部分(2a)中，并且具有仅用一个原子终止的远端； 以及由第二金属材料制成的供给部分(5)，其形成在细线部件(2)的远端部分(2a)附近，以供给到突出部分(4)。 |
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