| 一种可调光学滤波器件 |
| WOCN19107818 2019-9-25 发明申请 |
| 2021-4-1 |
| 公开了一种可调光学滤波器件，器件包括设置有第一镜面的第一玻璃薄膜和设置有第二镜面的第二玻璃薄膜，第一玻璃薄膜和第二玻璃薄膜具有镜面的表面外围通过键合物相互键合以在镜面之间形成腔体，第一玻璃薄膜或第二玻璃薄膜上设置有用于控制第一玻璃薄膜和/或第二玻璃薄膜相对位移的驱动装置。该可调光学滤波器件与现有的滤光器件相比具有更好的光学滤波性能，同时具有体积小、驱动电压更低的性能，可将其应用于尺寸受限的器件上，如微型光谱仪、小型甚至迷你高光谱相机或手机上。 |
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