| 一种基于图案化黑磷结构的可调谐微型红外光谱仪 |
| CN202311103779.5 2023-8-29 发明申请 |
| 2023-11-17 |
| 本发明属于光电技术领域，公开了一种基于图案化黑磷结构的可调谐微型红外光谱仪，基于图案化黑磷结构的可调谐微型红外光谱仪的光电探测器模块的光吸收层使用图案化黑磷、衬底使用Si衬底、金镜层使用PEC板；图案化黑磷、Si衬底、PEC板从上至下依次设置。本发明利用图案化黑磷结构实现了在中远红外波段内可调谐的光电探测器，利用可调谐特性实现小型化的光谱仪的设计，结构简单，解决了传统红外光谱仪体积大的问题，为红外光谱仪的小型化提供了一种可行的设计方法。 |
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