| X射线荧光光谱仪 |
| JP2022533027 2020-12-7 发明授权 |
| 2023-11-15 |
| 提供一种能够减少构成测定气氛的气体的消耗量的X射线荧光分析装置。 X射线荧光分析装置(1)具备:在内部载置试样(41)的试样室(11)、与试样室(11)内的试样(41)相邻地配置的测定室(12)、向试样照射X射线(23)的X射线管(20)、以及检测由试样(41)反射的X射线(23)的检测器(30)。 检测器(30)设置有通道(36)和孔(33),由样品(41)反射的X射线(23)穿过该通道,通道(36)位于测量室(12)中,孔连接通道(36)和检测器(30)的外部。 |