| 一种抗振白光干涉显微镜及其消除振动效应的方法 |
| WOKR19007143 2019-6-13 发明申请 |
| 2020-1-2 |
| 本发明涉及一种抗振白光干涉显微镜及其消除振动效应的方法。 根据本发明的一个实施例的抗振白光干涉显微镜，其包括 : 光源单元，被配置为同时产生相对宽光谱的白光和相对窄光谱的激光； 透镜单元； 以及扫描驱动单元，被配置为驱动透镜单元，包括 : 干涉图案产生单元，被配置为产生白光的干涉图案和激光的干涉图案； 照明成像显微镜光学单元，被配置为分离白光的干涉图案和激光的干涉图案； 触发产生单元，包括光电二极管和FPGA控制器，光电二极管被配置为测量激光的干涉图案，FPGA控制器被配置为通过分析由光电二极管测量的激光的干涉图案来产生触发； 高速摄像机，被配置为测量白光的干涉图案； 以及控制器，被配置为计算和处理关于由高速摄像机测量的白光的干涉图案的测量信息。 |
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