| 使用光谱相位的覆盖度量 |
| US17204595 2021-3-17 发明申请 |
| 2022-9-22 |
| 一种干涉式覆盖工具可包括干涉仪和控制器。 干涉仪可以包括一个或多个分束器，用于将包括一个或多个波长的照明分成沿着探测路径的探测光束和沿着参考路径的参考光束， 一个或多个照明光学器件，用于用探测光束照明光栅上的光栅结构， 一个或多个收集光学器件，用于收集来自光栅上光栅结构的测量光束， 一个或多个光束组合器，用于将测量光束和参考光束组合为干涉光束，以及可变相位延迟器，被配置为改变干涉仪中的光程差(OPD)。 所述控制器可从检测器接收表示与多个OPD值和所述一个或多个波长相关联的干涉相位数据的一个或多个干涉信号，并基于所述干涉相位数据来确定所述光栅覆盖光栅结构的覆盖误差。 |
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